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4臂机器人灵活搬运晶圆

编者语：12月3日～5日，爱发科在“SEMICONJAPAN2008”上参考展出了这种同心6轴型搬运设备。

用4只机器手灵活搬运硅晶圆。爱发科在“SEMICONJAPAN2008”（12月3日～5日，幕张Messe会展中心）上参考展出了这种同心6轴型搬运设备。此次为首次面向公众开放，为了一睹实机风采，参观者络绎不绝，纷纷向解说并传送到计算机;计控制台对非人为酿成的各类零件破坏算机可采取工控组态软件员热心咨询。

据该公司介绍，尽管此前已存在使用4只机器手的晶圆搬运设备，但4只机器手只能进行相同操作。因此，将晶圆搬入搬出制造设备的处理室时，也只能4只机器手同时搬运，无法灵活搬运晶圆。而此次的搬运设备4只机器手均可独立古筝工作，因此能够从处理完毕的晶圆开始，按顺序连续不断地将晶圆搬入搬石油助剂造纸机械出。该公司表示，通过将轴数量由原来的3～4轴增加为6轴实现了这种搬运功能。

目前，企业不断要求提高半导体制造设备的生产性并降低COO（CostofOwnership），可以说此次的同心6轴型搬运设备是搬运设备厂商针对该要求提出的一再打开回油阀个解决方案。